立体显微模块

   立体显微测量系统主要用于MEMS微机电、电子器件、生物医学、材料分析等领域。

   三维数字图像相关技术由于精度高,稳定性强和易于使用,广泛应用在应变测量中,但在微小样品上进行高放大倍率的3D测量还非常困难,立体显微测量克服了景深的局限性,然而其内部构造阻碍了使用传统方法进行图像相关计算应变,例如显微镜的光学失真以及尖锐的噪点波形等都非常难以解决。

  为了解决该问题,Correlated Solutions,Inc.,开发了简单易用的校正方法使其不再受传统的变形困扰,该校正方法计算立体显微镜非参数变形区域,然后在测量中校正该变形对应变的干扰。

* 该技术在美国专利号:US 7,133,570 B1  获得日期:2006117

          


立体显微模块特点:

 

  •  全场位移与应变测量

  •  自动校正、强大的可视化工具

  •  通过用户定义直线从3D数据上提取数据

  •  后处理工具可以做统计分析,应力应变图等

  •  方便导出数据到FLEXPortTM数据工具

  •  数据可导出为Tecplot/Plain ASCII, MatlabSTL等格式

  •  可以轻松提取节点数据进行有限元验证


    

显微测量参数表:

视场范围(FOV)0.8mm-7mm

面内位移精度:±10nm

离面位移精度:±120nm

应变精度:±0.01%

帧率:高达2000fps

行程:100mm*100mm*50mm   X*Y*Z

三项云台步进:1μm

相机分辨率:VGA,1MP,2MP,5MP

计算机控制电动云台:3

数字相关处理速度:80,000 pts/s

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